上海莲宇环保科技有限公司

微电子行业
  • CMP过滤应用

    CMP过滤应用

    产品描述:

    全国免费服务电话:17715166756

    在线预定

    邮箱:lianyuhb@163.com

    传真:18796865602

    分享至:

    CMP耗材主要种类

    研磨液:研磨时添加的液体状物质,颗粒大小跟研磨后的刮伤等缺陷有关,颗粒越小越好。基本形式是由Si02抛光剂和一一个碱性

    组分水溶液组成。Si02颗粒的大小1 -100nm ,浓度1.5%-50% ,碱性组成一般是KOH ,氨或有机胺, PH为9.5-11 ,颗粒越大对

    晶片的损伤越大。

    研磨垫:研磨时垫在晶片下面的片状物;

    研磨垫整理器: 钻石盘状物,整理研磨液。

    研磨液过滤要求:

    微粒组成:金属颗粒、有机物等; .

    过滤目的:

    去除颗粒、有机物等杂物;

    滤芯要求:

    a.滤材抗氧化性、抗腐蚀性强;

    b.滤材溶出物低、无介质脱落;

    c.高流量,压差低,机械强度高;

    d.去金属颗粒效果好,纳污量大,使用寿命长;


    CMP过滤应用参数表

    CMP耗材主要种类

    研磨液:研磨时添加的液体状物质,颗粒大小跟研磨后的刮伤等缺陷有关,颗粒越小越好。基本形式是由Si02抛光剂和一一个碱性

    组分水溶液组成。Si02颗粒的大小1 -100nm ,浓度1.5%-50% ,碱性组成一般是KOH ,氨或有机胺, PH为9.5-11 ,颗粒越大对

    晶片的损伤越大。

    研磨垫:研磨时垫在晶片下面的片状物;

    研磨垫整理器: 钻石盘状物,整理研磨液。

    研磨液过滤要求:

    微粒组成:金属颗粒、有机物等; .

    过滤目的:

    去除颗粒、有机物等杂物;

    滤芯要求:

    a.滤材抗氧化性、抗腐蚀性强;

    b.滤材溶出物低、无介质脱落;

    c.高流量,压差低,机械强度高;

    d.去金属颗粒效果好,纳污量大,使用寿命长;


    经营理念

    公司理念:人才为本、技术优先,绿色发展

    团队优势:公司团队主要人员均在过滤与分离领域从业10余年

    工作态度:正直、专业、卓越

    长期为客户提供优质的产品、解决方案和技术服务






    联系我们

    上海莲宇环保科技有限公司

    联系人:赵明珠

    手 机:17715166756

    电 话:18796865602

    邮 箱:lianyuhb@163.com

    地 址:上海市金山区廊下镇景乐路228号7幢C570室


    相关推荐产品